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單片式清洗設(shè)備(臥式)

從清洗到干燥整個工序可以對應(yīng)。最大處理尺寸為12英寸。
該型號適用于實(shí)驗(yàn)型或者研究開發(fā)用途用。

這種水平式清洗設(shè)備的磨砂工藝僅在表面(單側(cè))上是正常規(guī)格,但也可以通過增加機(jī)械臂機(jī)構(gòu)將要清洗的晶圓翻轉(zhuǎn)進(jìn)行雙面磨砂,并通過夾住磨砂刷進(jìn)行雙面磨砂。

還有一種將水平旋轉(zhuǎn)清潔和垂直雙面擦洗相結(jié)合的清洗設(shè)備,適用于在狹小的空間內(nèi)也能提高清潔度。

純水+表面活性劑簡易化學(xué)清洗、SC1清洗、SC2清洗等噴嘴定制開發(fā)各種清洗方式也是可能的。

技術(shù)規(guī)格

對應(yīng)尺寸 4~12英寸
使用藥液 酸和堿等各種
磨砂方式 單面~雙面對應(yīng)
優(yōu)勢 實(shí)現(xiàn)了高性能,緊湊拼化,占地面積小的優(yōu)勢
特點(diǎn)
高性能,低價格著稱
高性能而價格低的優(yōu)勢 滿足顧客需求,以價格低性能高而著稱。
自由定制
根據(jù)環(huán)境和用途,客戶可自由定制所需規(guī)格。
充實(shí)制造、售后機(jī)制
交付后可出差進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)。積極對應(yīng)故障問題。
用途
  • 半導(dǎo)體清洗
  • FPD、液晶清洗
  • MEMS、傳感器清洗
  • 硬盤清洗
  • 太陽電池清洗
  • 醫(yī)療(手洗、凈水管清洗)
  • 食品(手洗,殺菌,除臭)